台阶规长350mm，宽50mm。阶梯高度20mm，共5个台阶。
台阶规底面为平面，不得有局部或边缘突起。
采用玻璃靶标，靶标上刻直径φ5轮廓线，φ5圆心刻十字线，线长3mm。
全部线宽为<5μm。玻璃靶标厚度2mm。凹槽台阶面的平面度0.005mm
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